电吸收调制激光器（EML）正逐步成为光通信行业焦点，2024年全球市场规模已达约44.2亿。EML 作为电吸收调制器（EAM）与分布式反馈激光器（DFB LD）的集成器件，其性能依赖于纳米级光栅工艺，波长微小偏移即影响性能与良率。传统大光斑光致发光（PL） 检测无法揭示微米级结构的PL波长分布细节，HORIBA 全自动微区光致发光成像波长表征系统，助力 EML 质控。

PLATO MicroScan

全自动微区光致发光成像

全自动 | 高精度 | 集成化

对于激光器的制备，器件波长的工艺准确性至关重要。尽管可以通过对芯片结构区域的光致发光（PL）光谱的检测，验证工艺制备结果，然而晶圆大光斑的整片 PL 扫描结果无法准确表征微结构 PL 发光特征，亟需微区 PL 扫描设备。

HORIBA PLATO-Microscan 是结合大光路和显微光路的集成 PL 量测系统。光谱范围可覆盖可见到近红外，常用于基于 InP 材料的激光器制作中的外延质量控制。对于微观结构，可提供多种不同倍数目镜的选择，从而对微米级结构进行清晰表征。

仪器特点

PLATO-Microscan 兼具 Macro & Micro 两种 PL 成像功能，可自由选择面扫模式，其光斑自动聚焦功能与高坐标定位精度，帮你轻松获取目标区域的微区结构 PL 光谱。

EML 晶圆的 PL 分析

微区 PL 表征可以反馈对应区域结构的制备均匀性，缺陷位置程度或目标波长偏离程度等。

PLATO-Microscan 能够有效区分不同结构的 PL 光谱。下图为 EML 晶圆某区域的 PL 光谱，不同结构的特征光谱被有效区分并精准表征，图中不同颜色的光谱分别对应了不同的微区结构或结构层级深度。

左边为 AOI 成像图，右侧为显微 PL 的峰值波长（PW）成像图。测试条件：980 nm 激光激发，测量区域1 mmx1 mm（步进：3 μm）

可调谐激光器晶圆某区域的 PL 光谱。PW：峰值波长：EAM: 电吸收调制器；MQW：多层量子阱

PLATO-Microscan 的微区 PL 成像展现出高空间分辨率。通过对区域范围和步进的选择，可以调整 PL 光谱表征的细节程度和时长。图中对晶圆上的单个结构进行了细节扫描（400 μm x 400 μm, 1 μm step），能够看到清晰的区域分界和瑕疵点，以供分析。

EML 晶圆某区域的 PL面扫波长（左）和强度（右）结果示例