产品特点

测量项目：峰值波长、峰值强度、积分强度、半峰宽（FWHM）、AlGaN 层中铝含量

厚度测量：GaN 层薄膜厚度

弯曲度测量（可选）

符合 SEMI 标准的晶圆：2”、3”、4”、150 mm、200 mm

符合 SEMI 标准的 300 mm 晶圆（可选）

可选激光波长：213 nm、266 nm、325 nm、375 nm、405 nm、532 nm、980 nm、1064 nm 等

自动对焦功能，可在不修改测量配置的情况下测量不同厚度的晶圆

支持 Excel、CSV 导出，格式灵活

兼容 SECS/GEM、MES

优秀的光致发光（PL）成像系统，全球销量超过 250 台（覆盖 9 个国家、63 位客户）

产品概要

PLATO GaN 功率器件/UV-C

自动光致发光扫描成像系统

PLATO 数据示例: UV-C （213 nm 激光激发）

PLATO 数据示例: GaN 功率器件 Al% （266 nm 激光激发）

Bow 测量结果示例（位移传感器）

PLATO VCSEL & NIR LD

自动光致发光扫描成像系统

PLATO 数据示例: 940 nm VCSEL

PLATO 数据示例: 光通信和气体传感器（NIR波段）

PLATO 特殊功能

PLATO 参数