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光谱检测分析仪
HORIBA高灵敏一体式荧光光谱仪FluoroMax -
HORIBA模块式荧光光谱仪Fluorolog-3
HORIBA荧光光谱仪Aqualog®
HORIBA 原子力-拉曼联用系统XploRA Nano
HORIBA 多功能拉曼及成像光谱仪XploRA INV
HORIBA 高速高分辨显微共焦拉曼光谱仪LabRAM Odyssey
HORIBA高灵敏一体荧光光谱仪FluoroMax-4
HORIBA 科研级荧光光谱仪 Fluorolog®-3
HORIBA模块化科研级稳瞬态荧光光谱仪Fluorolog-QM
OEM光谱仪VS7000
其他测试设备
HORIBA红外碳硫分析仪EMIA-820V
HORIBA可调单色光源Tunable PowerArc
HORIBA探测器IGA array
HORIBA 探测器
HORIBA探测器Synapse CCD
HORIBA在线椭偏仪 In-situ series
HORIBA 智能型多功能椭偏仪Smart SE
HORIBA 表面等离子体共振成像仪OpenPlex
HORIBA一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE
HORIBA研究级经典型椭偏仪 UVISEL Plus
元素分析仪
HORIBA 高频红外碳硫分析仪EMIA-Pro
HORIBA 氧氮氢分析仪EMGA-930
HORIBA高频红外碳硫分析仪 EMIA-Pro
HORIBA全新碳硫分析仪 EMIA-Expert
HORIBA氧氮氢分析仪EMGA-Expet
激光粒度仪
HORIBA激光粒度分布分析仪 LA-300
HORIBA激光散射粒径分布分析仪LA-350
HORIBA激光粒度仪 LA960 V2
HORIBA紧凑型激光粒度仪Partica mini LA-350
HORIBA真空紫外光谱仪.VTM300
颗粒图像测试仪
HORIBA粒径分析仪LA-960
HORIBA高分辨超灵敏智能拉曼成像仪 LabRAM Soleil™
纳米粒度仪
HORIBA纳米颗粒分析仪 SZ-100 V2
HORIBA纳米颗粒追踪分析仪ViewSizer 3000
zeta电位仪
HORIBA纳米颗粒分析仪SZ-100系列
沉降式粒度仪
HORIBA 离心式粒度分析仪Partica CENTRIFUGE CN-300
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产品系列
光放电光谱仪是解密镀层工艺、解析镀层结构的强有力手段,可以通过元素变化获得镀层结构、层间扩散、元素富集、表面处理、镀层均一性等信息,从而改善工艺条件等。主要应用行业有金属冶金、半导体器件、LED芯片、薄膜太阳能电池、锂电池阴阳、光学玻璃、核材料等。
GD-Profiler 2 作为超快镀层分析的理想工具,非常适合于导体和非导体复合镀层的分析,操作简单、便于维护,是镀层材料研发、质控的理想工具。
· 使用脉冲式射频辉光源,可有效分析热导性能差以及热敏感的样品。
· 采用多项技术,如高动态检测器(HDD),可测试ppm-100%的浓度范围,Polyscan多道扫描的光谱分辨率为18pm~25pm等。
· 分析速度快(2-10nm/s)
技术参数:
1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑为平坦、等离子体稳定时间短,表面信息无任何失真。
2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜,也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。
3、Polyscan多道(同时)光谱仪可全谱覆盖,光谱范围从110nm-800nm,可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。
4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有大的光通量,因而拥有**的光效率和灵敏度。
5、高动态检测器(HDD)可快速、高灵敏的检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×1010。
6、宽大的样品室方便各类样品的加载。
7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。
8、HORIBA独有的单色仪(选配)可大地提高仪器灵活性,可实现固定通道外任意一个元素的同步测试,称为n+1。
9、适用于ISO14707和16962标准。
仪器原理:
辉光放电腔室内充满低压氩气,当施加在放电两的电压达到一定值,超过激发氩气所需的能量即可形成辉光放电,放电气体离解为正电荷离子和自由电子。在电场的作用下,正电荷离子加速轰击到(阴)样品表面,产生阴溅射。在放电区域内,溅射的元素原子与电子相互碰撞被激化而发光。